Messehighlight 08. April 2024

Innovation im Bereich der Photonik - eine stille Revolution in der Welt der Halbleitermesstechnik

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3D-Flying-Spot-Scanner 310 + CHRocodile 2 IT

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Enovasense Field Sensor HR

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Der Flying Spot Scanner (FSS) 310 kombiniert auf einzigartige Weise OCT mit dem Scannen eines großen Sichtfeldes und löst das Problem, dass ultrapräzise Messsysteme normalerweise sehr langsam arbeiten und extrem teuer sind. Der flexible und schnell bewegliche Messpunkt dieses Scanners mit einem breiten Sichtfeld ermöglicht eine berührungslose ROI-Prüfung in wesentlich kürzeren Zykluszeiten - ohne Einbußen bei der Genauigkeit. Der FSS 310 steigert erheblich Produktivität in der Halbleiterproduktion, da er einen Durchsatz von über 300 Wafern pro Stunde (einschließlich Bearbeitungszeit) ermöglicht. Der Schlüssel zu dieser Geschwindigkeit ist das eingebaute Abtastsystem, mit dem die langen Wege der Linearachsen durch kurze Drehbewegungen ersetzt werden. Dies verkürzt die Messzeiten erheblich und macht eine Präzisionsachse überflüssig.

Flying Spot Scanner 310 ist Prism Award Winner 2023.

Enovasense ist seit 2022 Mitglied der Precitec Group und wird auf der CONTROL 2024 sein neues Produkt der Enovasense Field Sensor HR präsentieren. Die Sensoren von Enovasense werden für Precitec-Kunden die Anwendungsmöglichkeiten erweitern, da sie in der Lage sind, die Dicke von opaken Schichten oder Beschichtungen sowie von nanometerdünnen Schichten genau zu messen.